泓浒半导体携多款晶圆传输机器人亮相SEMICON CHINA 2025！

泓浒半导体在semicon china 2025展会上大放异彩！

2025年3月26日至28日，SEMICON CHINA 2025在上海新国际博览中心盛大举行。作为国内领先的晶圆传输设备供应商，泓浒（苏州）半导体科技有限公司（以下简称“泓浒半导体”）携旗下多款晶圆传输机器人及AMHS设备惊艳亮相，充分展现了其在国产半导体装备核心零部件领域取得的突破性进展。

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展会期间，泓浒半导体展台人气爆棚，吸引了众多客户、专家、合作伙伴、投资人和媒体的关注。泓浒半导体团队热情地与参观者交流公司情况、产品技术和行业经验，并就行业发展趋势进行了深入探讨。

泓浒半导体在本次展会上重点推出了以下几款晶圆传输机器人及AMHS设备：

• 真空洁净机器人-五轴单臂四Blade: 这款机器人可高速变距搬运4片晶圆，适用于目前最先进的8~12腔大型真空工艺设备。

• 真空洁净机器人-四轴双臂四Blade: 能够同时高速搬运4片晶圆，已广泛应用于主流真空工艺解决方案。

• 真空洁净机器人-三轴单臂双Blade: 旋转半径小，非常适合应用于紧凑型高真空工艺设备。

• 大气洁净机器人-四轴双臂双翻转Blade: 支持晶圆翻转和360°全方位搬运，其独特的拐点传输方式能够满足更复杂的应用场景需求。

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此外，泓浒半导体还展示了其在机器人硬件、控制技术以及与OHT、AMR等AMHS设备的完美配套能力，致力于构建完整的半导体晶圆传输自动化产业链生态。

晶圆传输系统

泓浒半导体成立于2016年，专注于半导体传送设备及关键零部件领域，业务涵盖晶圆传输设备及部件、维修翻新、耗材及配件贸易。凭借持续的创新和强大的研发实力，公司取得了一系列突破性成果，例如2019年Sorter和EFEM量产，2022年突破SMIF和VTM技术壁垒，2023年自主研发真空机械手臂完成量产工艺验证，以及2024年核心部件量产交付。

目前，泓浒半导体拥有超过200项自主知识产权，其中包括90项已授权发明专利、超过100项正在受理和实审的发明专利，以及30项已授权软件著作权和60项已授权实用新型/外观专利。其产品已服务超过100家客户，涵盖硅片制造、集成电路制造、半导体封测和半导体设备等多个领域，客户包括中欣晶圆、华润微电子等知名企业。

面对国内半导体供应链安全日益受到重视的大环境，以及国内晶圆厂扩产带来的市场机遇，泓浒半导体将继续坚持自主研发和创新，高度重视技术攻关和人才培养。

作为国家专精特新“小巨人”企业和苏州市“独角兽”培育企业，泓浒半导体在半导体晶圆传输设备领域持续深耕，以创新驱动发展，为半导体产业高质量发展贡献力量。未来，泓浒半导体将继续在晶圆传输设备和零部件领域探索创新，为推动半导体设备国产化进程贡献更多力量。

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