格创东智NTB：破解半导体AMHS"最后一米"效率瓶颈的智能缓存枢纽

在格创东智stocker：覆盖半导体全流程存储，推动良率&效率双提速一文中提到，为全面满足半导体制造各环节的存储需求，格创东智打造了“核心存储+配套缓存”协同运作的完整stocker产品体系。该体系涵盖晶圆盒存储设备（normalstocker）、跨楼层立体调度的塔式存储设备（towerstocker）、光罩盒专用存储设备（reticlestocker）、氮气环境控制存储设备（n2purge stocker）等核心装置，同时配备空中缓存系统（ohb）与近机台缓存设备（ntb）等关键辅助单元。

作为整个架构中聚焦“机台端最后一米”的核心组件，格创东智NTB是一款专为光刻、刻蚀、沉积等半导体前道工艺机台量身定制的自动化物料缓存系统。设备部署于生产机台侧边，充分利用垂直空间提升缓冲容量，实现OHT天车与机台之间的高效物料中转，有效解决传统物流模式下常见的机台待料、天车拥堵、人工介入污染等问题，真正打通半导体自动化物料搬运系统的末端瓶颈。

AMHS末端的关键缓存节点

三大优势铸就不可替代地位

在半导体AMHS整体架构中，OHT负责长距离跨区域运输，Stocker承担全厂集中式物料管理，而格创东智NTB则凭借“近距离、高频次、快切换”三大核心能力，成为连接天车系统、存储设备与生产设备的中枢枢纽。

1、近距离：极致缩短传输路径，消除等待延迟

灵活空间适配：采用模块化拼装结构，单台占地仅1-2㎡，可精准嵌入刻蚀设备集群间隙或测试区狭窄通道，无需占用主物流动线；

极速物料交互：与机台LoadPort间距控制在1-3米内，单次装卸最快仅需10秒，显著优于OHT平均响应速度，有效消除转运等待时间，平衡不同工序间的节拍差异。

2、高频次：贴合产线节奏，快速响应连续作业

高频率换料支持：机械臂采用轻质材料设计，搭配高性能伺服控制系统，单次Load/Unload时间≤10秒，每分钟可完成不少于3次连续上下料操作，完美匹配测试机、分选机等高节奏设备需求；

本地智能控制：内置格创东智自主研发的控制引擎，可直接接收机台EAP指令，独立执行任务调度，摆脱对MCS系统的依赖，避免因网络延迟影响响应效率。

3、快切换：E84协议一键切换，支撑柔性制造

E84通信协议是机台（EQ）与外部设备进行数据交互的基础标准。传统切换方式需手动调整接线和参数，耗时长且易出错。格创东智NTB创新实现E84模式一键切换功能，无需更换硬件连接，通过本地触摸屏或远程MCS系统点击“切换至OHT”或“切换至NTB”，即可在10分钟内完成通信模式转换，极大提升了产线应对多品种、小批量生产的灵活性。

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终结机台“等料困局”

实现设备利用率与AMHS运行效率双跃升

格创东智NTB并非简单的临时存放架，而是通过“前置备料、自动交接、动态调度”机制，深度优化生产流程，带来设备稼动率提升与AMHS系统效能增强的双重价值。

提升设备稼动率：由“机等料”转向“料等机”

在传统模式下，由于OHT送料不及时或LoadPort满载，机台常处于闲置状态，稼动率普遍维持在75%-80%。格创东智NTB通过以下两种机制突破瓶颈：

预存待加工物料：MCS根据机台生产节奏提前下达搬运任务，OHT将即将使用的料盒送至对应NTB缓存，当前工单完成后可立即接料，大幅提升供料及时性；

暂存已完工载具：加工完成的晶圆盒可暂时存放于NTB，待OHT空闲时统一回收至Stocker，防止因出口堵塞导致机台停机。

优化AMHS运行效率：缓解负载压力，提升整体吞吐

若所有物料均依赖OHT直送机台，极易造成天车频繁启停、轨道拥堵（尤其在多台同时请求物料时）。格创东智NTB通过缓冲机制有效调节流量：

减少OHT无效往返：OHT可一次性向多个NTB投放待加工料盒，并集中回收已完成的料盒，单次任务覆盖更多节点，大幅降低空驶率；

缓解轨道拥塞：减少OHT在机台区域的等待与排队现象，释放轨道资源，提升AMHS整体流通能力。

作为国内极少数具备“AMHS整体解决方案+核心设备自研”双重能力的企业，格创东智NTB的价值不仅体现在解决“机台等料”这一单一问题，更在于以“小设备”撬动“大协同”——串联起从OHT调度、Stocker存储到机台生产的全链路自动化闭环。NTB正成为构建智能工厂物流体系的关键支点。

截至目前，格创东智NTB已累计交付超20台，其中95%应用于国内领先12英寸先进制程晶圆厂。未来，公司将持续坚持“技术自主可控、场景深度适配、服务快速响应”的发展理念，深化“AI+CIM+AMHS”一体化解决方案布局，助力半导体制造迈向更高水平的智能化升级。

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